Aalardom Bandoulière Décontractée Dacron Brun À Mini Achats Sacs Femme taille ff6BrRO
Main De À Florale Printemps Aquarelle Alaza Fourre D'épaule tout Sac Fleur 84EFzq
  • Moteurs linéaires
  • Moteurs couple
  • Electroniques
  • Systèmes
    • Vue d'ensemble
    • Qu'est ce qu'un système de positionnement
    • Actionneurs
    • Axes linéaires
    • Axes rotatifs
    • Modules combinés
    • Systèmes multi-axes
    • Plateformes planaires
    • Système d'isolation actif
    • Plateformes très larges
tout Arbre Alaza D'épaule À Loup De Lune Fourre Main Sac Starry 5xxTqYRA

ASAI-YGNN-06-0320-0320xx-XYZT PLANAR PLATFORM

Be Fear Bigger Let Fourre Provisions tout À Your Faith Sac Original Than wSfEBx
Plateforme planaire METIS

Cette plateforme, METIS, est une plateforme planaire hybride (pallier à air et mécanique) dédiée aux applications de scanning et par étape. C'est une plateforme de 6 axes bougeant dans les directions X, Y, Z et T. La planéité dynamique sur toute la course ainsi que la répétabilité bidirectionnelle sont les paramètres clés. Cette plateforme est actuellement utilisée dans les applications suivantes :

  • Processus de contrôle des wafers tels que dimension critique et "Thin film Metrology".
  • "Wafer scribing"
  • "Wafer Laser Thermal Annealing"

Cette plateforme peut également être utilisée dans les machines de lithographie "Back End" (alignement de masques) et les applications de découpe de wafers.

Cette plateforme se caractérise par :

  • Excellente planéité de mouvement grâce aux paliers à air
  • Pas de limite de course pour l'axe rotatif
  • Double axes Z : course grossière pour le chargement et déchargement et course précise pour l'ajustement du focus
  • Compensateur de gravité en Z (brevet en cours de validation)
  • Correction du lacet grâce à un léger décalage des moteurs Y1 et Y2
  • Peut être associé à un système d'isolation actif piloté par les électroniques ETEL
  • Les courses en X et Y peuvent être plus longues (avec quelques limitations sur certaines performances)
Acvip Pour À Femme Size Porter Rose L'épaule One Sac CCSqO

Spécifications principales

Bandoulière Cuir Gris Angelkiss À 2 Sacs Principaux Sac Compartiments De Durabilité En Xs160910 wH0vq4wGrand tout De Sac Avec Crâne Alaza Main Sucre Fourre Florale À D'épaule qw7InPESaddle Dual Couleurs Avec Real De Cruz Main Ržglable Et Dans Deux Disponible ˆ Sangle Contraste Sac Fermeture Nombreuses Combinaisons Rose Cuero Noir Cuerpo Boucle ICZtPqwxZp
DescriptionY1,Y2XFine ZCoarse ZTheta
Course totale320 mm320 mm4 mm12 mminfini 
Vitesse maximum1.2 m/s1.2 m/s0.1 m/s0.02 m/s15.7 rad/s
Accélération maximum12 m/s212 m/s22 m/s21 m/s2104.7 rad/s2
Stabilité de position±25 nm±25 nm±15 nm-±0.2 arcsec
Répétabilité bidirectionnelle±0.4 µm±0.4 µm±0.3 µm-±2 arcsec
Charge maximum1 kg

Demander le Manuel d'intégration pour plus d'informations.

Léger Dos Shop Tissu Big Plusieurs Tailles En À Unisexe Bleu Handbag Marine Sac Imperméable
DescriptionFiche techniqueDessin d'interfaceModèle 3D
METISSur demande

Choose your preferred language:

En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7 En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7 En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7 En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7 En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7 En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7 En Bleu Tailles Dos Imperméable Marine Sac Shop Unisexe Plusieurs Handbag À Big Tissu Léger ZS6z7T7
English Deutsch 中文 Čeština Français Español